नाइट्रोजन ट्राइफ्लुओराइड अर्धचालक प्रक्रिया सामग्री
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उत्पाद परिचय नाइट्रोजन ट्राइफ्लोराइड (एनएफ 3 ) एक प्रकार का रंगहीन, गंधहीन और चरित्र स्थिर गैस है, यह एक तरह का मजबूत ऑक्सीडेंट भी है। इसका पिघलने बिंदु 206.8 ℃ है, उबलते बिंदु 129.0 ℃, पानी में अघुलनशील है। माइक्रोइलेक्ट्रॉनिक उद्योग में नाइट्रोजन...
चीन नाइट्रोजन ट्राइफ्लुओराइड अर्धचालक प्रक्रिया सामग्री आपूर्तिकर्ता
माइक्रोइलेक्ट्रॉनिक उद्योग में नाइट्रोजन ट्राइफ्लोराइड एक तरह का उत्कृष्ट प्लाज्मा नक़्क़ाशी गैस है, जो प्लाज्मा नक़्क़ाशी की प्रक्रिया के दौरान सक्रिय फ्लोरीन आयन में फटा है। सिलिकॉन और सिलिकॉन नाइट्राइड के प्लाज्मा नक़्क़ाशी के लिए, नाइट्रोजन ट्राइफ्लोराइड का उपयोग करने में कार्बन टेट्राफ्लोराइड या ऑक्सीजन मिश्रित गैस का उपयोग करने की तुलना में उच्च नक़्क़ाशी दर और चयनात्मकता होती है, विशेष रूप से 1.5 μM से कम की मोटाई के साथ एकीकृत सर्किट सामग्री के साथ नक़्क़ाशी करने की प्रक्रिया में। नाइट्रोजन ट्राइफ्लोराइड में उत्कृष्ट नक़्क़ाशी दर और चयनात्मकता है, क्या अधिक है, etched सामग्री की सतह पर कोई प्रदूषण नहीं है, यह एक अच्छा सफाई एजेंट भी है।